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    ATV真空回流爐系統(tǒng)簡介
    
    
    
        
    
            
    日期：2025-05-08 23:59
    
            
    瀏覽次數(shù)：559
    
        
    
        
    
            摘要：
        
    
    
    
    
    
        
    ATV真空回流爐系統(tǒng)簡介
    冷卻系統(tǒng)
    　　分為(ATV真空回流爐)內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán)：設(shè)備內(nèi)部有個(gè)水箱，內(nèi)裝有DI water，通過水泵將水箱里面水進(jìn)行循環(huán)，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán)：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
    加熱系統(tǒng)
    　　包括主加熱和邊緣加熱。
    　　主加熱也就是整個(gè)加熱板。占加熱的95%。
    　　邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲，為了更好的提高熱板的均勻性，增大工藝有效面積。
    真空系統(tǒng)
    　　真空泵(ATV真空回流爐)抽真空流程：將腔體內(nèi)部氣體——主閥——真空泵——管道（通過加熱絲）——排風(fēng)里面。 真空部分有個(gè)過壓閥，腔體壓力過大時(shí)會(huì)自動(dòng)打開泄壓。
    測量系統(tǒng)
    　　除了控制加熱的TC之外，設(shè)備腔體內(nèi)部還有6組測量TC，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控產(chǎn)品溫度。

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